系統(tǒng)主要由濺射真空室、磁控濺射靶、基片水冷加熱公轉(zhuǎn)臺(tái)、工作氣路、抽氣系統(tǒng)、安裝機(jī)臺(tái)、真空測(cè)量及電控系統(tǒng)等部分組成。主要性能指標(biāo)：極限壓力≤2.0x10-5Pa；基片結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)6個(gè)工位；樣品尺寸:Ф30mm，可放置6片；運(yùn)動(dòng)方式：0-360°；加熱:最高溫度600°C；靶材尺寸Φ60mm,各靶射頻濺射與直流濺射兼容,靶與樣品距離40-80mm可調(diào),永磁靶5套。質(zhì)量流量控制器2路.計(jì)算機(jī)控制樣品轉(zhuǎn)動(dòng)、擋板開(kāi)關(guān)、靶位確認(rèn)等。

　　多功能磁控濺射儀特點(diǎn)：

　　1、此系統(tǒng)包含大多數(shù)的真空薄膜鍍層技術(shù):熱蒸發(fā)(boatevaporationorcrucible)，電子束蒸發(fā)，濺射沉積。

　　2、這樣我們?cè)谝慌_(tái)設(shè)備上可以靈活運(yùn)用多種膜生長(zhǎng)技術(shù),針對(duì)各種不同大小和形狀的樣品,非常方便切換沉積模式。

　　3、腔體的開(kāi)放式設(shè)計(jì),使得樣品大小從幾毫米到250毫米均可鍍層。樣品夾具可以輕松固定多個(gè)樣品并同時(shí)鍍膜。此系統(tǒng)真空腔內(nèi)連接一個(gè)300mm寬的快速通道門,可以非常方便和快速地切換樣品和靶源。這對(duì)于薄膜制備研究機(jī)構(gòu),面對(duì)多種材料增加或改變沉積方式,轉(zhuǎn)換起來(lái)非常方便,并沒(méi)有任何空間限制。

　　4、此系統(tǒng)為模塊式設(shè)計(jì),可以針對(duì)用戶的具體應(yīng)用來(lái)訂制設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)。