納米壓印系統(tǒng)應(yīng)用及方法介紹
更新時(shí)間：2022-05-05 點(diǎn)擊次數(shù)：2185
納米壓印系統(tǒng)是一種用于數(shù)學(xué)、物理學(xué)、化學(xué)、材料科學(xué)領(lǐng)域的工藝試驗(yàn)儀器。
生物大分子的納米圖案變化對于組織工程具有非常重要的意義，如何將在生物活性前提下實(shí)現(xiàn)生物大分子的納米圖案仍然是一個(gè)科學(xué)挑戰(zhàn)。利用納米壓印過程的生物相溶性，可以將生物大分子DNA、蛋白質(zhì)等直接進(jìn)行納米圖案化，進(jìn)而研究其在生物醫(yī)療和組織工程領(lǐng)域的應(yīng)用。
納米壓印方法：包括步驟：提供集成模具；所述集成模具包括平面板以及緊密固定在所述平面板上的多個(gè)具有納米圖案的單元模具；提供襯底；在所述襯底表面形成光刻膠層；將所述集成模具壓在所述光刻膠層上以將單元模具上的納米圖案復(fù)制在所述光刻膠層；分離所述平面板；以及將多個(gè)單元模具逐個(gè)與所述光刻膠層分離，以完成納米圖案的轉(zhuǎn)移。
納米壓印系統(tǒng)引入了一個(gè)臺式、獨(dú)立的NanoImprint平臺。這個(gè)平臺提供了一個(gè)帶有微型定位夾具的機(jī)械平臺，用于安裝納米壓印室、紫外線固化源和校準(zhǔn)顯微鏡。它既可以作為納米壓印系統(tǒng)，也可以作為傳統(tǒng)的掩模校準(zhǔn)器，同時(shí)為整個(gè)壓印過程提供可編程的自動控制。
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