近年來(lái)，由于脈沖激光技術(shù)的發(fā)展日趨成熟，脈沖激光沉積（PLD）在薄膜制備領(lǐng)域的應(yīng)用已經(jīng)成為研究的熱點(diǎn)。

　　

　　由于脈沖激光具有高能量峰值以及短脈寬，燒蝕靶材時(shí)會(huì)濺射出大量復(fù)雜的微納粒子形成等離子體，等離子體在真空或背景氣體中經(jīng)過(guò)定向膨脹后到達(dá)基底，在基底上形成產(chǎn)物，因此利用PLD技術(shù)可以在基底上沉積特定成分和微納結(jié)構(gòu)的薄膜。

　　

　　脈沖激光沉積技術(shù)能夠制備類型廣泛且性能優(yōu)異的功能薄膜，因此目前被廣泛地應(yīng)用到光電、新能源、生物、超導(dǎo)、電子封裝、催化、傳感等領(lǐng)域。

　　

　　1、光電領(lǐng)域

　　

　　近年來(lái)，PLD制備二維薄膜在光電領(lǐng)域的研究十分火熱，展現(xiàn)出良好的應(yīng)用前景。如應(yīng)用于高速寬帶光電二極管的多層MoTe2/Si2D-3D垂直異質(zhì)結(jié)、厘米級(jí)高質(zhì)量Mo0.5W0.5S2薄膜、柔性二維Bi2Te3SnS-Bi2Te3光電探測(cè)器、晶圓級(jí)高質(zhì)量的二維InSe薄膜、摻鎵氧化鋅(GZO)透明導(dǎo)電薄膜等，推動(dòng)了高性能光電探測(cè)器和光電器件的發(fā)展。

　　

　　2、新能源領(lǐng)域

　　

　　能源問(wèn)題是目前人類面臨的重要挑戰(zhàn)人類亟待探索和開(kāi)發(fā)新能源的獲取和利用方式。脈沖激光沉積技術(shù)由于能夠制備能源器件中所需的高性能功能薄膜而被廣泛應(yīng)用于新能源領(lǐng)域，如太陽(yáng)能光伏電池中的光致發(fā)光材料以及燃料電池、鋰電池中的電極等。

　　

　　3、生物領(lǐng)域

　　

　　目前，具有抑制生物膜形成能力的材料在生物領(lǐng)域引起了人們極大的興趣，制造“微生物惰性”表面近年來(lái)已經(jīng)成為一個(gè)較為火熱的研究方向。目前PLD技術(shù)在生物領(lǐng)域比較常見(jiàn)的應(yīng)用，是制備具有抗菌性能和生物相容性的金屬和金屬氧化物涂層。

　　

　　PLD技術(shù)在生物領(lǐng)域除了制備抗菌涂層外，還在生物監(jiān)測(cè)方面有所應(yīng)用。

　　

　　4、超導(dǎo)領(lǐng)域

　　

　　超導(dǎo)材料的制備對(duì)PLD技術(shù)的發(fā)展和應(yīng)用具有十分重要的推動(dòng)作用，自1987年貝爾實(shí)驗(yàn)室利用PLD技術(shù)，制備具有高溫超導(dǎo)特性的Y-Ba-Cu-O(YBCO)薄膜，脈沖激光沉積技術(shù)才開(kāi)始受到關(guān)注并蓬勃發(fā)展。因此，PLD在超導(dǎo)材料制備領(lǐng)域具有悠久的歷史并且應(yīng)用十分廣泛，至今研究還十分火熱。