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半自動(dòng)光刻機(jī)在高精度微加工中的實(shí)際應(yīng)用
半自動(dòng)光刻機(jī)在高精度微加工中的實(shí)際應(yīng)用 2025-04-15

隨著微電子技術(shù)和納米技術(shù)的快速發(fā)展,光刻技術(shù)成為了半導(dǎo)體制造和高精度微加工中的核心技術(shù)。尤其是半自動(dòng)光刻機(jī),憑借其較高的性價(jià)比和較為靈活的操作模式,已經(jīng)在許多高精度微加工領(lǐng)域中得到了廣泛應(yīng)用。一、半自動(dòng)光刻機(jī)的工作原理光刻技術(shù)通過利用光敏材料(光刻膠)在紫外光或激光照射下發(fā)生化學(xué)...

  • 開爾文探針掃描主要應(yīng)用于以下領(lǐng)域 2022-04-11

    開爾文探針掃描是一種基于振動(dòng)電容的非接觸無損氣相環(huán)境金屬表面電位的測(cè)量技術(shù),用于測(cè)量材料的功函數(shù)(WorkFunction)或表面勢(shì)(SurfacePotential)。它可以用于檢測(cè)氣相環(huán)境中因溫度、濕度、表面的化學(xué)、電學(xué)、力學(xué)、晶體、吸附、成膜等因素引起的材料表面電勢(shì)的微小變化,是一種高靈敏的表面電化學(xué)分析技術(shù),是能夠測(cè)定氣相環(huán)境中腐蝕電極表面電位的方法。特點(diǎn):(1)高速高分辨電位分布測(cè)量功能。(2)快速變化電位分布測(cè)量功能。(3)低噪聲電位分布測(cè)量功能。(4)智能調(diào)試功...

  • 磁濺射鍍膜機(jī)的磁控濺射種類及工藝 2022-04-11

    磁濺射鍍膜機(jī)是一種普適鍍膜機(jī),用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系??慑兏鞣N硬質(zhì)膜、金屬膜、合金、化合物、半導(dǎo)體、陶瓷膜、介質(zhì)復(fù)合膜和其他化學(xué)反應(yīng)膜,亦可鍍鐵磁材料。磁濺射鍍膜機(jī)主要用于實(shí)驗(yàn)室制備有機(jī)光電器件的金屬電極及介電層,以及制備用于生長(zhǎng)納米材料的催化劑薄膜層。真空鍍膜技術(shù)作為一種產(chǎn)生特定膜層的技術(shù),在現(xiàn)實(shí)生產(chǎn)生活中有著廣泛的應(yīng)用。真空鍍膜技術(shù)有三種形式,即蒸發(fā)鍍膜、濺射鍍膜和離子鍍。這里主要講一下由濺射鍍膜技術(shù)發(fā)展來的磁控濺射鍍膜的原理及相應(yīng)工藝的研究。濺射屬于PDV(物...

  • 一文帶你快速了解磁控濺射鍍膜機(jī)的工作原理 2022-04-06

    磁控濺射鍍膜機(jī)是物理氣相沉積的一種。一般的濺射法可被用于制備金屬、半導(dǎo)體、絕緣體等多材料,具有設(shè)備簡(jiǎn)單、易于控制、鍍膜面積大和附著力強(qiáng)等優(yōu)點(diǎn)。因?yàn)槭窃诘蜌鈮合逻M(jìn)行高速濺射,必須有效地提高氣體的離化率。磁控濺射通過在靶陰極表面引入磁場(chǎng),利用磁場(chǎng)對(duì)帶電粒子的約束來提高等離子體密度以增加濺射率。磁控濺射鍍膜機(jī)原理:磁控濺射的工作原理是指電子在電場(chǎng)E的作用下,在飛向基片過程中與氬原子發(fā)生碰撞,使其電離產(chǎn)生出Ar正離子和新的電子;新電子飛向基片,Ar離子在電場(chǎng)作用下加速飛向陰極靶,并以...

  • 該如何提高激光直寫技術(shù)的精度呢? 2022-03-14

    激光直寫技術(shù)是一種近年來應(yīng)用廣泛的超精密加工技術(shù)。該技術(shù)是一種利用強(qiáng)度可變的激光束,在基片表面實(shí)施有規(guī)則的高精度掃描。在掃描過程中,光刻基片隨載物平臺(tái)而運(yùn)動(dòng)。因此影響光刻元件的質(zhì)量取決于載物平臺(tái)的定位精度以及運(yùn)動(dòng)的穩(wěn)定性,影響光刻元件的快速性取決于系統(tǒng)的響應(yīng)度?;跀?shù)字式伺服的運(yùn)動(dòng)控制器是超精密定位系統(tǒng)的關(guān)鍵。由于數(shù)字伺服濾波器是數(shù)字式伺服的運(yùn)動(dòng)控制器的核心,從而數(shù)字伺服濾波器的設(shè)計(jì)將影響系統(tǒng)的定位精度。數(shù)字伺服濾波器是指系統(tǒng)的閉環(huán)控制與調(diào)節(jié)采用數(shù)字技術(shù),所有控制調(diào)節(jié)實(shí)現(xiàn)軟件...

  • 傳統(tǒng)常見的超聲波風(fēng)速儀與Sonic超聲波風(fēng)速計(jì)優(yōu)勢(shì)對(duì)比 2022-03-03

    超聲波風(fēng)速儀的原理是測(cè)量超聲波脈沖在兩個(gè)探頭之間傳播的時(shí)間來計(jì)算空氣移動(dòng)的速度,也就是風(fēng)速。當(dāng)空氣移動(dòng)時(shí),超聲波在兩個(gè)探頭之間的時(shí)間會(huì)變長(zhǎng)或變短。超聲波在空氣里就像水里的魚,水的流動(dòng)方向,順流而下或逆流而上,會(huì)影響魚行進(jìn)的速度。傳統(tǒng)常見的超聲波風(fēng)速儀,它有一個(gè)超聲波發(fā)射探頭,三個(gè)超聲波接收探頭。這樣,就可以測(cè)量在二維平面上3個(gè)方向上的風(fēng)速。而Sonic超聲波風(fēng)速儀該系統(tǒng)包括:?jiǎn)屋S、雙軸或三軸探頭陣列,以及其他幾種新型探頭陣列設(shè)計(jì)。這些設(shè)計(jì)減少了流動(dòng)不對(duì)稱和結(jié)構(gòu)構(gòu)件干擾造成的誤...

  • 淺析球磨測(cè)厚儀的正確操作步驟 2022-03-02

    球磨測(cè)厚儀的正確操作步驟:操作步驟:1.開機(jī):裝入電池后按紅色按鍵或?qū)x器探頭垂直接觸被測(cè)物體表面并壓實(shí),儀器將自動(dòng)開機(jī)。(使用時(shí)務(wù)必要使探頭垂直接觸被測(cè)物表面并壓實(shí),禁止接觸狀態(tài)下橫向滑動(dòng)探頭,以免劃傷探頭前端紅寶石。每次測(cè)量后將儀器拿起,離開被測(cè)物10cm以上,再進(jìn)行下次測(cè)量。)2.設(shè)置:球磨測(cè)厚儀開機(jī)后按紅色按鍵進(jìn)入菜單,QNix4500為4個(gè)選項(xiàng),QNix4500為2個(gè)選項(xiàng):“Fe”為磁性金屬基體模式,“NFe”為非磁性金屬基體模式(僅QNix4500),“Fe/NF...

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