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勻膠機(jī)，旋涂儀其工作原理是高速旋轉(zhuǎn)基片, 利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上, 厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數(shù)而不同, 也和旋轉(zhuǎn)速度及時間有關(guān)。

無掩膜光刻機(jī), 激光直寫系統(tǒng)是一個高價值的直寫激光光刻機(jī)系統(tǒng)，面向大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)尋求擴(kuò)大他們的能力。 它用亞微米像素分辨率的405nm激光在光敏抗蝕劑涂層表面大面積書寫。你可以寫任何東西，從光掩模到基礎(chǔ)科學(xué)或應(yīng)用科學(xué)的研究原型，集成相機(jī)可以用來調(diào)整現(xiàn)有的功能寫。

負(fù)性光刻膠 （SU-8）-光刻機(jī)用 SNR負(fù)性光刻膠，針對微機(jī)械加工微電子應(yīng)用，高對比度，環(huán)氧樹脂類負(fù)性光刻膠。 具有垂直側(cè)壁的高縱橫比成像 近紫外（350-400nm）處理 單旋涂膜厚度為1.5至200µm 高度耐化學(xué)性和耐溫度性 與已建立的SU-8光刻工藝兼容

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